一种荧光光片显微成像系统及方法 

本发明公开了一种荧光光片显微成像系统及方法。所述荧光光片显微成像系统包括检测装置、校正装置、成像装置和控制装置,其中:所述检测装置用于检测活体样本内部的组织平面成像视场的各预设等晕区的波前像差畸变,并输送给所述控制装置,所述控制装置用于根据接收到的所述波前像差畸变,向所述校正装置发出校正指令,所...
北京大学  中国专利  2016年 下载次数(0)| 被引次数(0)

EUV掩模检验系统的光学器件的波前像差度量 

本发明揭示一种用于测量极紫外光EUV检验系统的波前像差的测试结构。所述测试结构包含:衬底,其由对EUV光实质上无反射性的材料形成;及多层ML堆叠部分(例如柱),其形成于所述衬底上且包括具有不同折射率以反射EUV光的多个交替层对。所述对具有等于或小于15的计数。
科磊股份有限公司  中国专利  2015年 下载次数(0)| 被引次数(0)

基于波前传感器的机器学习快速像差测量系统与方法 

本发明公开了一种基于波前传感器的机器学习快速像差测量系统与方法。用马赫—曾德干涉仪通过移相干涉法测量实验样品的畸变相位分布,处理得到像差先验信息,利用像差先验信息生成相位分布集合;将相位分布集合依次加载到空间光调制器后扫描无畸变的荧光样品,得到畸变光强分布图样,建立光强分...
浙江大学  中国专利  2019年 下载次数(0)| 被引次数(0)