Nickel ohmic contacts of high-concentration P-implanted 4H-SiC 

Different-dose phosphorus ion implantation into 4H-SiC followed by high-temperature annealing was investigated.AlN/BN and graphite post-implantation annealin...
《半导体学报》  2012年 第03期 下载次数(43)| 被引次数(2)

Analytical model for capacitance-voltage characteristics of ion-implanted 4H silicon carbide Schottky barrier diodes 

In order to undertake theory analysis in the application area of switching,frequency and power devices,an analytical model for capacitance-voltage (C-V) charact...
《Journal of Harbin Institute of Technology》  2011年 第06期 下载次数(27)| 被引次数(0)

Influence of nitrogen dose on the charge density of nitrogen-implanted buried oxide in SOI wafers 

To harden silicon-on-insulator(SOI) wafers fabricated using separation by implanted oxygen(SIMOX) to total-dose irradiation,the technique of nitrogen i...
《半导体学报》  2010年 第02期 下载次数(46)| 被引次数(1)

Optical and magnetic properties of GaN epilayers implanted with ytterbium 

We have studied the optical and magnetic properties of ytterbium implanted GaN epilayer grown on (0001) sapphire by metalorganic chemical vapor by deposit...
《Journal of Rare Earths》  2010年 第06期 下载次数(28)| 被引次数(3)

离子注入光学晶体的辐射与光波导效应研究 

集成光学在现代光通信和光信息处理应用中起着关键作用,而光学材料异质结构是集成光学系统的重要组成部分。光学晶体异质结构是将不同性质的光学单晶结合在一起,从而实现单一晶体无法实现的特殊性能,在小型和微型光学异质结构中二维光波导结构是形成异质结构的先驱条件。在获得高性能二维光学晶体薄膜的方法中离子注入或智能切割(smart ...
山东大学  博士论文  2014年 下载次数(194)| 被引次数(0)

离子注入非线性光学晶体光波导折射率改变模型研究 

集成光学是现代信息技术中的重要研究内容之一。而光波导器件则是集成光学系统的基础和核心。目前,常用的形成光波导的方法有金属扩散法、离子交换法、薄膜生长技术法和离子注入法。其中,离子注入技术能够精确控制光波导的深度和光波导的折射率,能够保留晶体的原始特性,这使得离子注入技术成为一种有效的光波导制作方法。离子注入光波导的折射...
山东大学  博士论文  2012年 下载次数(314)| 被引次数(1)

High-voltage 4H-SiC PiN diodes with the etched implant junction termination extension 

This paper presents the design and fabrication of an etched implant junction termination extension(JTE)for high-voltage 4H-SiC PiN diodes. Unlike the conv...
《Journal of Semiconductors》  2017年 第02期 下载次数(49)| 被引次数(1)

A simulation analysis of performance of both implanted doping and in situ doping ETSOI PMOSFETs 

Extremely thin silicon on insulator p-channel metal-oxide-semiconductor field-effect transistors(PMOSFETs) with implanted doping and in situ doping are an...
《Journal of Semiconductors》  2015年 第04期 下载次数(32)| 被引次数(2)

Effects of a carbon implant on thermal stability of Ni_(0.95)(Pt_(0.05))Si 

The effects of a carbon implant on thermal stability of Ni0:95(Pt0:05/Si films are investigated by implanting carbon of different doses into Si subs...
《Journal of Semiconductors》  2015年 第06期 下载次数(27)| 被引次数(0)

Implantation induced defects and electrical properties of Sb-implanted ZnO 

Defects in Sb implanted Zn O single crystals have been studied by using photoluminescence(PL) spectroscopy,X-ray diffraction(XRD) and Raman scattering.Ele...
《Science China(Technological Sciences)》  2015年 第08期 下载次数(22)| 被引次数(1)

Collection efficiency and charge transfer optimization for a 4-T pixel with multi n-type implants 

In order to increase collection efficiency and eliminate image lag,multi n-type implants were introduced into the process of a pinned-photodiode.For th...
《半导体学报》  2011年 第12期 下载次数(47)| 被引次数(12)

Influence of nitrogen implantation into the buried oxide on the radiation hardness of silicon-on-insulator wafers 

In order to improve the total-dose radiation hardness of the buried oxide of separation by implanted oxygen silicon-on-insulator wafers, nitrogen ions wer...
《Chinese Physics B》  2010年 第10期 下载次数(5)| 被引次数(1)

Unipolar resistive switching of Au~+-implanted ZrO_2 films 

The resistive switching characteristics of Au+-implanted ZrO2 films are investigated. The Au/Cr/Au+- implanted-ZrO2/n+-Si sandwiched structure exhib...
《半导体学报》  2009年 第04期 下载次数(93)| 被引次数(9)

Luminescence spectroscopy of ion implanted AlN bulk single crystal 

High concentrations of Si and Zn were implanted into (0001) AlN bulk crystal grown by the self-seeded physical vapor transport (PVT) method. Cathode lumin...
《半导体学报》  2009年 第08期 下载次数(38)| 被引次数(1)

利用刻蚀和椭偏技术研究离子注入铌酸锂晶体的波导特性 

光波导是利用光在折射率不同的两种介质分界面上发生全反射的原理,将光波限制在微米量级的透明材料中传输的导行结构。光波导是集成光学的基本单元,是光波耦合器、波导调制器、波导开关等无源器件和有源器件的基础,也是全光网络传输的基础。光波导以其独特的性能、高度集成化以及规模生产的低成本,在各种光器件的制造中起着重要的作...
山东大学  博士论文  2008年 下载次数(361)| 被引次数(0)

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