一种光学自由曲面原位测量方法 

本发明属于先进制造中的光学表面自由曲面零件制造技术领域,涉及一种光学自由曲面原位测量方法,包括:1)搭建波前像差测量系统,并将测量系统和加工刀具一并固定于超精密加工车床上;2)在进行光学自由曲面加工后,采用波前像差测量系统对加工器件的光学质量进行测试,得到波前像差数据;3)根据测量得...
天津大学  中国专利  2012年 下载次数(0)| 被引次数(0)

非球面相位恢复检测技术研究 

非球面光学零件在光学系统中的广泛应用,对现代光学加工和检测技术提出了挑战。因为光学制造的精度和效率很大程度上依赖于检测技术,所以高精度在位检测对于非球面尤其是大型非球面镜制造有着非常重要的意义。利用相位恢复技术测量镜面面形,结构简单,抗振动,测量量程较大,可以获得较高精度的定量检测结果,是实现非球面在位检测最有希望的方...
国防科学技术大学  博士论文  2011年 下载次数(1049)| 被引次数(11)

聚光光学系统、激光加工方法和装置以及脆性材料的制造方法 

本发明公开了一种聚光光学系统,该聚光光学系统具有小尺寸的会聚光斑和大的焦深而不会引起会聚光斑的强度下降和在焦点位置的前后区域强度分布不连续的问题。该聚光光学系统以预定的焦距会聚由激光源生成的激光束并且设计成满足表达式(a)~(d),由此产生第三阶和第五阶球面像差:(a...
住友电气工业株式会社;住友电工硬质合金株式会社  中国专利  2009年 下载次数(0)| 被引次数(0)

激光微加工中产生的像差分析及补偿方法 

激光微加工中,被加工材质与空气的折射率不同会产生像差,影响加工效果。基于激光微加工机理,运用波前像差函数推导出像差表达式,得到光学系统参数、加工深度与像差的关系曲线。采用泽尔尼克循环多项式对像差进行补偿,获得补偿后的系统点扩散函数。以双光子飞秒脉冲激光在光致变...
《机械工程学报》  2014年 第05期 下载次数(162)| 被引次数(1)

飞秒激光微加工质量优化的若干问题研究 

飞秒激光是一种超短脉冲激光,可以在单脉冲能量很低的条件下获得GW甚至TW量级的瞬时功率,这使得飞秒激光与物质作用时表现出显著的非线性现象。近年来,运用双光子诱发光敏材料发生光聚合反应实现三维微加工已经成为微纳加工领域的研究热点,并逐渐发展成为一种集超快激光技术、光化学材料技术、显微技术、超高精度定位技术、CAD/CAM...
上海大学  博士论文  2017年 下载次数(391)| 被引次数(2)

非球面的近零位子孔径拼接测量技术研究 

大口径凸非球面在大型望远镜、光刻物镜、惯性约束聚变等光学系统中的应用越来越多,其口径和面形误差直接决定了光学成像质量,是影响系统性能的重要元件。现代确定性光学加工技术的根本前提是面形误差的准确定量检测,而以补偿检验为代表的传统方法,存在测量口径受限、像差补偿能力不足或精度不高等技术瓶颈,严重制约其制造水平的...
国防科学技术大学  硕士论文  2013年 下载次数(89)| 被引次数(2)

基于相移干涉的MEMS变形镜平面度测试系统误差分析与校正 

微机电系统(Micro-Electro-Mechanical Systems, MEMS)技术的发展使得对先进测试技术与装置的研制的需求日益迫切,MEMS静动态特性测试技术已成为MEMS测试技术的重要组成部分。传统的测量技术(如接触式测量)的要么精度不高,要么效率低,无法达到大范围精密测量的要求,光学干涉测...
中国科学技术大学  硕士论文  2009年 下载次数(405)| 被引次数(6)

一种基于液晶空间光调制器的激光柔性微加工系统及方法 

本发明公开了一种基于液晶空间光调制器的激光柔性微加工系统及方法,系统包括激光器、第一反射镜、λ/2波片、扩束镜、第二反射镜、第一空间光调制器、第二空间光调制器、λ/4波片、第一透镜、第三反射镜、空间滤波器、第四反射镜、第二透镜、分光镜、第三透镜、CCD相机、振镜、场镜、工作台和电脑;本发明利用液晶空间光调制器`#~波前...
湖北工业大学  中国专利  2019年 下载次数(0)| 被引次数(0)

激光照射装置及激光照射方法 

激光照射装置具备:激光光源,使激光产生;空间光调制器,具有显示相位图案的显示部,并将由激光光源所产生的激光对应于显示部所显示的相位图案来进行调制;光束直径转换机构,配置在位于激光光源与空间光调制器之间的激光的光路上,放大或缩小激光的光束直径;透镜插拔机构,具有改变激光的光束直径的透镜,并能够将透镜插入激光光源与空间光调...
浜松光子学株式会社  中国专利  2018年 下载次数(0)| 被引次数(0)

一种基于液晶空间光调制器的激光柔性微加工系统及方法 

本发明公开了一种基于液晶空间光调制器的激光柔性微加工系统及方法,系统包括激光器、第一反射镜、l/2波片、扩束镜、第二反射镜、第一空间光调制、第二空间光调制、l/4波片、第一透镜、第三反射镜、空间滤波器、第四反射镜、第二透镜、分光镜、第三透镜、CCD相机、振镜、场镜、工作台和电脑;本发明利用液晶空间光调制器`#~波前`@...
湖北工业大学  中国专利  2017年 下载次数(0)| 被引次数(0)

精密加工激光切割机 

精密加工激光切割机,利用待切割物与聚焦激光相互作用产生的弧光作为波前探测器的信标波前,或者同时利用少部分激光经后向反射器的反射回光作为激光自身像差信标,并由波前控制器把波前探测器得到的信号经过控制算法形成控制信号或者经数据融合形成...
中国科学院光电技术研究所  中国专利  2006年 下载次数(1)| 被引次数(0)

共找到相关记录11条1