偏极化曝光装置 

本实用新型提供一种偏极化曝光装置是用以对一基板进行曝光并包含一基板承载单元、一温控单元以及一曝光单元。基板承载单元用以承载基板。温控单元控制基板达到一工艺温度。曝光单元提供一偏极化光,并对该基板进行曝光。以此,本实用新型可提高曝光效能并缩短工站时间。
群创光电股份有限公司  中国专利  2014年 下载次数(0)| 被引次数(0)

用于冷却工艺物流的方法和装置 

本发明提供一种冷却工艺物流的方法,该方法包括至少以下步骤:(a)在第一工艺温度下在第一冷却回路中使第一冷却剂供应物流与工艺物流换热,从而产生第一冷却剂返回物流和冷的工艺物流;(b)使第一冷却剂返回物流通入第一冷却剂返回罐以提供热的第一冷却剂;(c)从第一冷却剂返回罐中抽出...
国际壳牌研究有限公司  中国专利  2010年 下载次数(0)| 被引次数(0)

热超声键合高频换能系统设计与控制 

压电换能器及驱动系统是高频热超声键合换能系统的关键构成之一,其结构设计与驱动控制方法的研究具有重要学术和应用价值。本文以改善高频热超声引线键合效率与质量为目的,系统地研究了高频超声换能器柔性解耦结构动态设计理论,功率超声激振信源、动态调谐控制策略、键合工艺温控算法,获得如下成果: 基于机电等效电路原理、有限元分...
天津大学  博士论文  2012年 下载次数(444)| 被引次数(8)

LPCVD法制备多晶硅薄膜工艺的研究 

随着器件特征尺寸的不断减小以及衬底尺寸的不断加大,对衬底硅片的质量提出了更加严格的要求。多晶硅吸杂作为一种外吸杂技术,具有增强吸杂的作用,可获得硅片表面足够宽的洁净区,能显著改善衬底硅片的表面质量,已经作为ULSI和VLSI衬底硅片吸杂的主要方式。但多晶硅薄膜生长过程产生的应力使得硅片抛光后翘曲度发生很大变化,无意引入...
河北工业大学  硕士论文  2016年 下载次数(51)| 被引次数()

光致抗蚀剂去除机台以及光致抗蚀剂去除工艺 

本发明提供一种光致抗蚀剂去除机台以及光致抗蚀剂去除工艺,光致抗蚀剂去除机台包括加热器、晶圆载具、马达以及高度控制单元。晶圆载具供晶圆相对于加热器作垂直位移,马达分别与晶圆载具以及高度控制单元电性连接,利用高度控制单元控制晶圆停留于至少三个位置,而光致抗蚀剂去除`#~工...
台湾积体电路制造股份有限公司  中国专利  2009年 下载次数(0)| 被引次数(0)

饮料热灌装用恒温储料罐装置 

本实用新型揭示了饮料热灌装用恒温储料罐装置,基于储料罐和数个灌装阀构成,储料罐设有入料口和数根与灌装阀一一对接的输料管,特别地,恒温储料罐装置设有循环热水箱、数组保温套管和设于循环热水箱和保温套管之间的循环管道,保温套管一一套接于输料管并保持恒温恒温的工艺温度。应用本实用新型的饮料热灌装用恒温储料罐装置,在...
江苏华宇飞凌包装机械有限公司  中国专利  2014年 下载次数(0)| 被引次数(0)

覆膜钼粉激光烧结成型件后处理工艺研究 

用快速成型技术快速制造出高性能的复杂金属件,是利用快速成型实现快速制造的最高目标,具有广阔的应用前景,尤其是用 SLS 技术制造金属件最有发展前途,这也是目前世界上研究的热点和难点。在国外,激光烧结覆膜金属粉末可以间接成型金属件,而且这项技术已经商业化。但由于技术垄断和对材料及工艺都保密,我国难以掌握和应用。本课题的目...
中北大学  硕士论文  2006年 下载次数(194)| 被引次数(2)

一种热板抽气装置及其温控方法 

一种热板抽气装置,包括:具有工艺腔室的箱本体,所述箱本体内容置热板抽气装置的各功能部件;热板,通过承载体固定设置在所述工艺腔室内,并在所述热板上设置待工艺处理之晶圆;抽气单元,与用于检测工艺腔室内之温度的温控单元电连接,并根据所述温控单元之检测温度...
上海华力微电子有限公司  中国专利  2016年 下载次数(0)| 被引次数(0)

ZnO薄膜的制备及其晶体管性能研究 

ZnO-TFT具有低温生长、高迁移率以及全透明的优点,具有取代Si基器件成为下一代薄膜晶体管技术的可能,有很大的应用前景。而其材料特性、器件和工艺特性等方面还有很多前沿的科学问题值得研究。本文围绕着“ZnO薄膜的制备”和“ZnO薄膜器件特性研究”两个主题,将全文分成四个部分,对ZnO的薄膜特性和器件性能进行...
复旦大学  博士论文  2010年 下载次数(1334)| 被引次数(9)

基于红外测温法的MOCVD工艺温度分析 

为了得到MOCVD工艺生长过程中石墨盘的温度分布,提出了基于红外测温法的非接触无损测量方法,使用自主研发的双波长红外测量仪,能够得到石墨盘的径向和圆周温度分布情况,对MOCVD的加热炉结构改进和工艺过程控制有很大的指导意义。
《计量与测试技术》  2012年 第04期 下载次数(79)| 被引次数(3)

合成硼碳氮体系薄膜的XPS研究 

采用 X 射线光电子谱( X P S) 分析300 ~500‘ C 等离子体源离子渗氮硼和碳化硼薄膜合成的氮化硼和硼碳氮薄膜利用合成薄膜成分可控的特点, 研究 B、 C、 N 对薄膜的 X P S影响结果表明, X P S分析合成氮化硼薄膜能够确定其化学组成, 但不能确定sp2 和sp3 型键合结构特性; X P...
《无机材料学报》  1999年 第04期 下载次数(205)| 被引次数(5)

用于纸张疏水化的淀粉的制备 

本发明涉及一种制备用于纸张疏水化的淀粉(3)的装置(1)和方法。该装置(1)包括热泵(5),其从纸张的纸张制造的废热流(9)吸收热能并输出热能以用于将淀粉(3)加热到工艺温度
西门子股份公司  中国专利  2019年 下载次数(0)| 被引次数(0)

SJ-500型真空脱蜡烧结炉关键技术及设备研究 

SJ-500型真空脱蜡烧结炉关键技术及设备研究;;SJ-500型真空脱蜡烧结炉具是利用真空机产生时工作室抽至真空,再按工艺曲线将炉温升至各工艺温度使烧结的脱蜡和烧结,其技术难点在于真空度,炉温均匀中生,锅冷势均匀性收蜡率指标,各参数的准确测定和自动控制及整台设备的可靠性运行。经研究达到了以下技术指标,极限真空气0.7P...
自贡硬质合金有限责任公司  科技成果  2002年 下载次数(3)| 被引次数(0)

调温式照片上光机 

本实用新型在单面上光机的加热腔内部安装了一个简易自动控温装置,使达到可以调温和自动恒定于所调的最佳工艺温度上的目的,克服了原有上光机所存在的易烤黄照片、烧伤压布、烧坏设备、上光不均匀等缺点。
周贤才  中国专利  1986年 下载次数(0)| 被引次数(0)

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