MEMS工艺集成化设计及其可视化 

微型机电系统(Micro Electro-Mechanical System,MEMS)是目前一个新兴的学科交叉领域,具有非常广阔的应用前景,是未来世界科学的研究重点。最近几年,MEMS的发展非常迅速,MEMS器件越来越复杂,MEMS的制作技术也随之发展,相比而言,MEMS的设计显得相对的落后。...
西北工业大学  硕士论文  2003年 下载次数(407)| 被引次数(3)