激光合成波长纳米位移测量干涉仪的研制 

大范围高精度的纳米位移测量技术及仪器是支撑高端装备制造技术提升的一项基础关键技术。近年来,随着超精密加工、微电子制造等高新技术的迅速发展,零件加工精度不断提高而加工范围越来越大,集成电路芯片线宽不断缩小而硅晶片尺寸不断扩大,因此超精密数控机床工作台的运动检测与校准,集成电路芯片制造过程中扫描工作台的运动控制与定位,以及...
浙江理工大学  博士论文  2014年 下载次数(60)| 被引次数(4)

基于图像灰度信息的直线位移测量模型校正与位移求解 

位移测量技术涉及现代科学的诸多领域。近年来,超精密制造加工的发展对位移测量的速度与精度提出了更高的要求。随着数字图像处理技术的进步,基于图像传感器的精密位移测量以其非接触、全场测量、高精度的特点而备受国内外学者关注。本文以直线位移测量为研究对象,研究了一种通过多个图像传感器的冗余检测信息求解直线位移的测量方法。在仿真中...
电子科技大学  硕士论文  2019年 下载次数(11)| 被引次数()

高层建筑动态位移摄像测量技术研究 

随着我国经济不断发展,大量结构新颖、体型复杂的高层建筑不断涌现。这对保障它们的全寿命期(施工期和运营期)安全提出了极大挑战。位移是反映结构性能和安全的重要指标,无论是结构施工控制还是结构健康监测,位移均是基本的监测内容。尽管位移测量已有许多方法,但它们不能完全满足高层建筑动态位移监测的需求,结构动态位移监测仍存在较多困...
浙江工业大学  硕士论文  2016年 下载次数(109)| 被引次数(0)

结构位移摄像测量温致误差模式研究 

位移是结构安全性能的重要指标。大型结构动态位移监测存在较多困难。结构位移摄像测量具有非接触、远距离等优点,有望成为一种实用方法。由于摄像机存在着温度效应,温度变化会对位移摄像测量精度产生影响。开展了实验环境近似工程实际的结构位移摄像测量实验,对长期连续摄像测量过程中由温度引起的位移测量误差现象进行了探究。实验结果表明温...
温州大学  硕士论文  2017年 下载次数(11)| 被引次数()

位移测量系统及其测量方法 

位移测量系统及其测量方法,包括微处理器,及与所述微处理器相连接的显示装置和键盘,所述显示装置包括标识符号;位移测量方向选择框,用于对位移测量方向进行选择;位移测量误差补偿值设定框,用于对多个区间测量值的位移测量误差补...
上海第二工业大学  中国专利  2009年 下载次数(0)| 被引次数(0)

扫描干涉场曝光系统中光栅衍射波前控制方法研究 

大尺寸衍射光栅作为十分重要的核心器件应用在光谱仪器、天文学、计量学和惯性约束核聚变等众多领域。传统全息光栅制造技术,曝光系统需要透镜口径很大,材料的获取、加工以及系统的装调都是难以解决的问题,同时也无法对光栅衍射波前质量进行精确控制。扫描干涉场曝光系统是这几年出现的一种新的全息光栅制作方式,它吸收了机械刻划、全息曝光和...
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所  博士论文  2017年 下载次数(184)| 被引次数(0)

精密PSD微位移在线测量技术的研究与应用 

PSD(位置敏感器件)作为一种光斑位置检测器件,相比CCD和CMOS器件,具有多种不可比拟的优势,因此,在各种测量领域其都将有很好的应用前景。 本文首先对PSD特性和激光三角法进行了理论分析,并结合幅度调制解调原理制定了微位移测量方案;其次,通过对光源、光斑质量、被测表面特征和散斑等各种光学特性对测量影响的研究...
天津大学  博士论文  2012年 下载次数(883)| 被引次数(23)

双目视觉位移测量误差的测算方法及测量系统 

本发明提供一种基于标准量具(螺旋千分尺或游标卡尺)的双目视觉位移测量误差的测算方法及测量系统。该方法包括以下步骤:将标记物设置在标准量具的尺头上;分别沿立体空间的三维坐标系中的三个坐标轴方向平行地布置标准量具,调节标准量具以使标记物分别沿三个坐标轴方向随尺头移动,并获取标记物的位移的...
北京理工大学  中国专利  2010年 下载次数(0)| 被引次数(0)

摄影测量系统动态位移测量误差校准装置及方法 

本发明属于摄影测量校准技术领域,具体涉及一种摄影测量系统动态位移测量误差校准装置及方法。直线电机带动滑台沿导轨方向进行直线运动,直线导轨侧面安装有光栅和光栅读数头,光栅配合光栅读数头测量滑台的运动位移,同时光栅的刻线脉冲信号作为同步触发信号,经过处理电路进行电...
北京航天计量测试技术研究所;中国运载火箭技术研究院  中国专利  2018年 下载次数(0)| 被引次数(0)

基于腔调谐正交偏振光回馈理论及稳频回馈位移测量系统 

正交偏振双频激光回馈现象蕴含丰富的激光物理内容。将其用于位移测量是应用推广的基本技术。且回馈位移测量系统具有成本低、精度高等优点。但目前缺乏系统有效的理论来解释正交偏振双频激光回馈的物理机制,回馈位移测量系统也还未考虑稳频来保证测量精度。本文系统的研究了正交偏振双频氦氖激光器光回馈现象的机理,提出了在光回馈...
清华大学  博士论文  2009年 下载次数(387)| 被引次数(0)

激光外差干涉直线度及其位置测量系统的研制 

直线度是表征机械性能参数的一项几何量,直线度误差的检测属精密测量技术领域研究重点之一。论文分析了目前国内外直线度测量的研究现状,对比了各种直线度测量方法的优缺点,针对基于激光外差干涉原理的直线度及位置测量方法,进行仪器化的相关研究。 论文描述了基于激光外差干涉原理的直线度及位置的双自由度测量方法和系统的组成,分析...
浙江理工大学  硕士论文  2012年 下载次数(321)| 被引次数(4)

电涡流位移测量误差与被测面几何形貌的关系模型及补偿 

电涡流传感器因其具有非接触无测量力、对被测面粗糙度不敏感、环境适应能力强等特点,为工程中金属零件的位移测量提供了有效方法。涡流测量原理是基于线圈-平板互感效应,在测量平面时可获得理想测量精度。但是,电涡流位移测量问题研究对象正由平面向复杂曲面的方向发展。当被测金属表面具有非平面几何特征时,尚存在一些制约电涡流位移传感器...
大连理工大学  硕士论文  2014年 下载次数(285)| 被引次数(7)

外差干涉纳米级光栅位移测量系统关键技术研究 

高精度位移测量作为现代制造业与信息产业领域的关键技术,对国家经济发展与科技进步具有重要意义。本文以实现大量程、高精度、高稳定性位移测量为目标,将外差探测与光栅测量技术相结合,研制了一维和二维两套外差干涉光栅位移测量系统,并对二者进行了较为详尽的理论分析与实验研究,主要创新性工作归纳如下:1.改进了课题组之前提出的对称式...
国防科学技术大学  博士论文  2016年 下载次数(71)| 被引次数(1)

车辐式屋盖结构的一种索力识别方法的误差研究 

基于一种由静力位移测量值识别车辐式结构索力的方法,该文评估了位移测量误差对于索力识别结果的影响,用数值计算及理论推导得到了二者的关系。索力识别误差是位移测量误差的单调函数。在位移值远大于测量误差时,该函数接近线性,否则有明显的非线性。在误差幅值相同的情况下,选择不同的加载及测量方案,索力识别的精度是不同的:单位荷载产生...
《工程力学》  2013年 第03期 下载次数(86)| 被引次数(3)

激光三角法位移检测误差分析及改进 

本课题针对应用激光三角法进行齿轮参数检测时出现的位移测量误差进行分析并提出了改进措施。应用激光位移传感器对齿轮参数进行非接触测量时,测量精度容易受到被测齿面倾斜和粗糙度的影响。因此,如何有效减小倾斜和粗糙度引起的误差是提高激光三角法测量稳定性和精度的关键。 本文分析了被测物面倾斜和粗糙度对测量精度的影响,推导了误...
长春理工大学  硕士论文  2013年 下载次数(487)| 被引次数(13)

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