实现对称结构硅基二氧化硅应力光波导偏振不灵敏的方法 

一种用于实现具有对称结构的硅基二氧化硅应力光波导偏振不灵敏的方法,包括如下步骤:(1)在硅衬底上用热氧化法、火焰水解法或等离子增强化学气相沉积法形成二氧化硅下包层;(2)用等离子增强化学气相沉积法生长可调整波导双折射系数的高折射率SiON补偿层;(3)在波导中心用反应离子刻蚀法对称刻蚀掉其中一半;(4)火焰...
中国科学院半导体研究所  中国专利  2005年 下载次数(0)| 被引次数(0)

非线型弹簧秤 

为了克服现有的弹簧秤反应灵敏的量程小,量程大的反应不灵敏的不足,本实用新型提供一种非线型弹簧秤,在测量较小的力时很灵敏,并且量程较大。本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是:一块面板上部的左右两个角设置有位置水平的两个螺丝。一条弹簧的两端分别固定在一个螺丝上。弹簧的中心竖直向下悬...
刘树霞  中国专利  2013年 下载次数(0)| 被引次数(0)

偏振不灵敏半导体光学放大器的制备方法 

一种偏振不灵敏半导体光学放大器的制备方法,包括如下步骤:1)利用等离子体化学气相沉积技术在铟磷衬底上生长介质膜;2)利用普通的光刻腐蚀技术刻出半导体光学放大器所需的掩膜图形;3)采用窄条宽选择生长金属有机化学气相沉积技术,在光刻后的铟磷衬底上依次生长n型铟磷缓冲层、铟镓砷磷有源层以及p型铟磷盖层;4)利用腐...
中国科学院半导体研究所  中国专利  2003年 下载次数(0)| 被引次数(0)