一种制备多层膜元件过程中非灵敏层误差控制方法及装置 

本发明实施例公开了一种制备多层膜元件过程中非灵敏层误差控制方法及装置,利用晶控法制备薄层灵敏度高的优点,控制制备非灵敏层前端部分,使剩余光控沉积厚度部分落在最佳灵敏位置监控,减少光控信号不灵敏带来的监控误差,利用光控法制备非灵敏层后端部分,使剩余光...
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所  中国专利  2017年 下载次数(0)| 被引次数(0)