薄膜晶体管透明电极铟锡氧化物雾状不良的分析研究 

对FFS-TFT制作工艺中,与氮化硅膜层接触的透明电极ITO发生的雾状不良进行分析研究。通过扫描电子显微镜、宏观/微观显微镜和背光源测试设备对样品进行分析。结果显示接触层的等离子体界面处理对ITO的透过率和膜质特性有较大影响,可导致严重的雾状不良发生和刻蚀工艺中的膜层下端过度刻蚀的问题。通过在透明电极ITO上面沉积微薄...
《液晶与显示》  2014年 第03期 下载次数(129)| 被引次数(1)

不同应力下的双层钙钛矿锰氧化物La_(1.3)Sr_(1.7)Mn_2O_7薄膜输运特性研究 

采用脉冲激光沉积(PLD)法分别在SrTiO3(100)、LaAlO3(100)和MgO(100)单晶基片上制备了双层钙钛矿锰氧化物La1.3Sr1.7Mn2O7(LSMO)薄膜。X射线衍射谱表明三个样品均沿衬底的晶向择优生长;原子力显微镜显示薄膜表面均光滑致密。采用标准四探针法对薄膜的阻温特性进行了研究,发现SrTi...
《人工晶体学报》  2014年 第05期 下载次数(97)| 被引次数(1)

金属氧化物薄膜光学常数计算物理模型应用研究 

采用离子束溅射(IBS)方法制备了HfO2和Ta2O5两种金属氧化物薄膜,通过测量薄膜的椭偏参数,使用非线性最小二乘法反演计算获得薄膜的光学常数。在拟合过程中,采用L8(27)正交表设计了8组反演计算实验,在初始选定Cauchy模型后,对HfO2薄膜拟合影响最大的为表面层模型,对Ta2O5薄膜拟合影响最大的为折射率梯度...
《光谱学与光谱分析》  2014年 第05期 下载次数(204)| 被引次数(7)

Cu掺杂对ZnO氧化物电子结构与电输运性能的影响 

采用平面波超软赝势密度泛函理论计算方法研究了p型Cu掺杂的纤锌矿结构氧化物ZnO的电子结构,在此基础上分析了其电输运性能。计算结果表明,Cu掺杂ZnO氧化物具有0.6 eV的直接带隙,且为p型半导体,在导带和价带中都出现了由Cu电子能级形成的能带,体系费米能级附近的能带主要由Cu p态、Cu d态和O p态电子构成,且...
《量子电子学报》  2014年 第03期 下载次数(125)| 被引次数(12)

溶胶凝胶法制备高性能锆铝氧化物作为绝缘层的薄膜晶体管 

本文采用溶胶凝胶法制备了锆掺杂铝氧化物(锆铝氧化物)和铪铟锌氧化物薄膜,并用于制造薄膜晶体管的绝缘层和有源层.锆铝氧化物绝缘层具有较高的介电常数,其相对介电常数为19.67,且薄膜表面光滑,致密,其表面粗糙度仅为0.31 nm.获得的薄膜晶体管具备良好的器件性能,当器件宽长比为5时,器件的饱和迁移率为21.3 cm2/...
《物理学报》  2014年 第11期 下载次数(181)| 被引次数(4)

La_(0.5-x)Nd_xSr_(0.5)CoO_3(x=0,0.1)氧化物的结构和磁性 

采用固相反应法制备了La0.5-xNdxSr0.5CoO3(x=0,0.1)多晶样品。通过XRD和SQUID研究了样品的结构和磁性。研究表明,随着Nd3+的掺入使体系中由于晶格畸变引起的电子-声子耦合减弱,会使Co3+—O—Co4+之间的双交换作用增强,使样品的居里温度提高了30 K;从磁化强度随温度变化曲线可以看出x...
《稀土》  2014年 第04期 下载次数(71)| 被引次数(0)

双层钙钛矿锰氧化物(La_(0.9)Eu_(0.1))_(4/3)Sr_(5/3)Mn_2O_7的磁性和磁熵变研究 

本文采用传统固相反应法制备多晶样品(La_(0.9)Eu_(0.1))_(4/3)Sr_(5/3)Mn_2O_7,并对其磁性和磁卡效应进行研究.研究表明:在低温部分出现反铁磁和铁磁相互竞争,在三维铁磁有序转变温度(T_c~(3D)≈75 K)至二维铁磁转变温度(T_c~(2D)≈227 K)范围内出现铁磁顺磁共存;此外...
《中国科学:物理学 力学 天文学》  2014年 第08期 下载次数(111)| 被引次数(8)

两步反应法制备硅基氮氧化物荧光材料SrSi_2O_2N_2:Eu~(2+)及其发光性能研究 

本文以硅酸盐相Sr2SiO4:Eu2+为前驱体,采用两步反应法制备了一系列单相的氮氧化物荧光粉Sr1?xSi2O2N2:Eu2+x(0.02?x?0.10),详细探讨了SrSi2O2N2:Eu2+荧光粉的反应机制及发光性能.实验结果显示所有样品能被近紫外光(400 nm)和蓝光(450 nm)激发发射出峰值位于535 ...
《中国科学:物理学 力学 天文学》  2014年 第07期 下载次数(168)| 被引次数(4)

离子束溅射制备氧化物薄膜沉积速率调整方法 

采用正交试验设计方法,系统研究了离子束溅射HfO2、Ta2O5和SiO2薄膜的沉积速率与工艺参数(基板温度、离子束压、离子束流和氧气流量)之间的关联性。采用正交表L9(34)设计了9组实验,采用时间监控的离子束溅射沉积方法,分别制备HfO2、Ta2O5和SiO2薄膜,并对三种薄膜的27个样品采用椭圆偏振法测量并计算物理...
《红外与激光工程》  2014年 第07期 下载次数(188)| 被引次数(3)

钙钛矿锰氧化物(La_(1-x)Eu_x)_(4/3)Sr_(5/3)Mn_2O_7(x=0,0.15)的磁性和电性研究 

通过传统固相反应法制备了钙钛矿锰氧化物(La1-xEux)4/3Sr5/3Mn2O7(x=0,0.15)多晶样品,并且对其磁性和电性进行了研究.磁性测量表明:随着温度的降低,样品经历了一个复杂的转变过程,在温度为T*时经历二维短程铁磁有序转变,在温度为TC时进入三维长程铁磁态.随着Eu的掺杂,T*和TC减小,并且样品(...
《物理学报》  2014年 第14期 下载次数(125)| 被引次数(11)

金属氧化物薄膜在中波红外光谱区内光学常数色散特性 

基于金属氧化物薄膜材料在中波红外波段应用的需求,研究了含水状态的TiO2、HfO2、Ta2O5和Y2O34种金属氧化物薄膜在中波红外波段内(2.5~5μm)光学常数的色散特性。利用电子束蒸发沉积技术,在超光滑的硅表面制备了4种氧化物薄膜,基于洛仑兹振子介电常数色散模型,通过透射率光谱反演计算了4种氧化物薄膜的光学常数。...
《光学学报》  2014年 第08期 下载次数(358)| 被引次数(10)

Gd~(3+)掺杂钙钛矿锰氧化物(La_(0.9)Gd_(0.1))_(4/3)Sr_(5/3)Mn_2O_7的磁性和电性研究 

采用传统的高温固相反应法,制备钙钛矿锰氧化物(La0.9Gd0.1)4/3Sr5/3Mn2O7多晶样品,通过X射线衍射仪(XRD)、物性测量系统(PPMS)研究了样品的结构、磁性和电性。结果表明:样品为Sr3Ti2O7型四方结构,空间群为I4/mmm;同时,样品出现了含量非常少的杂质相。磁性测量表明:样品经历了铁磁到顺...
《阴山学刊(自然科学版)》  2014年 第03期 下载次数(50)| 被引次数(0)

热处理工艺对钒氧化物薄膜结构和性能的影响研究 

为了研究热处理工艺参数对V2O5薄膜微观结构与性能的影响,采用改进无机溶胶-凝胶法制备稳定的V2O5溶胶,以石英玻璃为基片,通过浸渍提拉法制得V2O5薄膜,再进行真空热处理。利用X射线衍射谱仪(XRD)、场发射扫描电镜(FESEM)、UV-Vis分光光度计和UV-Vis-NIR光谱仪对热处理后的V2O5薄膜进行测试。结...
《武汉理工大学学报》  2014年 第06期 下载次数(86)| 被引次数(0)

采用可见/近红外光谱检测大麦叶片过氧化氢酶与过氧化物酶含量的研究 

采用可见/近红外光谱对丙酯草醚胁迫下大麦叶片过氧化氢酶(catalase,CAT)与过氧化物酶(peroxidase,POD)含量预测进行研究。对500~900nm光谱采用移动平均法(moving average,MA)11点平滑方法进行预处理。采用蒙特卡罗-偏最小二乘法(monte carlo-partial lea...
《光谱学与光谱分析》  2014年 第09期 下载次数(262)| 被引次数(13)

Ca掺杂ZnO氧化物的电子结构与电性能研究 

基于密度泛函理论广义梯度近似第一性原理计算的方法,系统研究了Ca掺杂ZnO氧化物的晶格结构和电子结构,在此基础上分析了其电学性能。结果表明,Ca掺杂ZnO晶胞减小。Ca掺杂氧化物仍为直接带隙半导体材料,带宽达1.5 eV。掺杂体系费米能级附近的能带主要由Cas态、Cap态、Znp态和Op态电子构成,其中p态电子对价带态...
《人工晶体学报》  2014年 第08期 下载次数(168)| 被引次数(8)

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