TiN/(Ti,Al)N复合多层膜的制备及研究 

本文用脉冲偏压电弧离子镀技术在铝高速钢(HSS-A1)和冷作模具钢(Cr12)基体上分别制备了单层(Ti,Al)N薄膜、不同脉冲偏压幅值下的TiN/(Ti,Al)N复合多层薄膜。利用扫描电子显微镜(SEM)并结合原子力显微镜(AFM)对不同偏压幅值工艺参数下制备的单层(Ti,Al)N薄膜表面形貌进行观察,利用X射线衍射...
兰州大学  硕士论文  2006年 下载次数(349)| 被引次数(0)

摄像机用镜头的光圈装置及其控制方法 

本发明提供一种即使在将利用步进电机的光圈控制方式的镜头单元与其他方式(DC自动控制方式、视频自动控制方式)的相机主体连接的情况下,也能够恰当地进行利用步进电机的光圈控制的技术。在本发明的一个实施方式中,检测出在与相机主体连接的镜头单元的第一端子与第四端子之间的信号电压(S31),在该信号电压比8伏特大的情况(S32的“...
富士胶片株式会社  中国专利  2015年 下载次数(0)| 被引次数(0)

基于晶片的光源参数控制 

一种光刻方法,包括:指示光源产生脉冲光束;横跨光刻曝光装置的晶片扫描脉冲光束,以利用脉冲光束对晶片进行曝光;在横跨晶片的脉冲光束的扫描期间,接收晶片处的脉冲光束的特性;接收针对特定脉冲光束特性的晶片的物理性质的确定值;和基于扫描期间接收到的`#~脉...
西默有限公司  中国专利  2016年 下载次数(0)| 被引次数(0)

具有优化的产量和稳定性的EUV光刻系统和方法 

本发明提供了一种极紫外(EUV)光刻工艺。该工艺包括:将晶圆加载至具有EUV源的EUV光刻系统;根据曝光剂量和EUV源的等离子体状态来确定剂量裕度;以及使用曝光剂量和剂量裕度,通过来自EUV源的EUV光来对晶圆执行光刻曝光工艺。本发明还提供了另一种极紫外(EUV)光刻工艺以及一种极紫外(EUV)光刻系统。
台湾积体电路制造股份有限公司  中国专利  2016年 下载次数(0)| 被引次数(0)

传感器装置、调色剂浓度检测方法和图像形成装置 

本发明提供传感器装置、调色剂浓度检测方法和图像形成装置,能提高谐振频率变化的检测灵敏度,准确检测调色剂浓度。传感器装置(1)包括:输出具有与调色剂浓度相应的频率的脉冲信号的LC谐振电路(110)、将从LC谐振电路输出的脉冲信号倍增的倍增部(120)、基于倍增部倍增的脉冲信号检测调色剂...
京瓷办公信息系统株式会社  中国专利  2016年 下载次数(0)| 被引次数(0)

一种用于毛细管放电EUV光源的负载系统 

一种用于毛细管放电EUV光源的负载系统,涉及EUV光源负载设计领域。本发明是为了解决常规DPP#EUV光源的电源设计时,负载特性难以模拟,电源设计参数难以确认的问题。本发明所述的左侧部分:预脉冲高压电极位于最中心,左侧绝缘套套在预脉冲高压电极的外侧,主脉冲高压电极套在左侧绝缘套的外侧...
哈尔滨工业大学  中国专利  2016年 下载次数(0)| 被引次数(0)

脉冲管制冷机 

本发明提供一种通过控制DC流的流动来提高制冷性能的脉冲管制冷机。脉冲管制冷机具有压缩机(212)、在与该压缩机(212)之间进行制冷剂气体的吸排的蓄冷器(280)、低温端与蓄冷器(280)的低温端连接的脉冲管(290),在蓄冷器(280)的低温端(284)侧设置有第1流量控制装置(3...
住友重机械工业株式会社  中国专利  2014年 下载次数(0)| 被引次数(0)

基于北斗卫星和GPS双模转换授时接收机的脉冲板模块 

本实用新型揭示了一种基于北斗卫星和GPS双模转换授时接收机的脉冲板模块,该脉冲板模块包括微处理器单元、脉冲信号相位同步单元和脉冲信号选择处理单元;所述微处理器单元分别与脉冲信号相位同步单元和脉冲信号选择处理单元通讯连接;所述脉冲信号相位...
深圳智英电子有限公司  中国专利  2014年 下载次数(0)| 被引次数(0)

同轴型脉冲管制冷机热端内部导流结构 

本专利公开了一种同轴型脉冲管制冷机的热端内部导流结构,该结构主要由热端换热器、脉冲管座、脉冲管、气体导流器组成。以热端换热器为基体,中间通孔,并用线切割技术在内部割出环形狭缝体;脉冲管座内部台阶上安装气体导流器,用以引导从进气口进入的气体形成环形分布;脉冲管座...
中国科学院上海技术物理研究所  中国专利  2013年 下载次数(0)| 被引次数(0)

光源装置 

一种光源装置,能够稳定地维持点亮开始后的高温等离子体状态从而稳定地维持发光,并抑制因发光管的加热引起的点亮寿命降低。向内部封入有发光气体的发光管(1),从脉冲激光振荡部(21)入射脉冲式激光束,并从连续波激光振荡部(25)入射连续波激光束,以在发光管内两光束重合的方式进行聚光。在点亮开始时,由`...
优志旺电机株式会社  中国专利  2011年 下载次数(0)| 被引次数(0)

选通脉冲照明 

提供了一种通过调节各相应光源的相应光脉冲图形来调节在希望的一致光强度所选通的多个光源中的每一个的相应光强度。在整个选通脉冲持续时间周期上控制所有光源来照明一对象。光脉冲图形可以是用各种方法形成的微选通光脉冲图形。该照明技术可用于保存对象的边光...
株式会社三丰  中国专利  2006年 下载次数(0)| 被引次数(0)

超低温深冷混合液化器 

一种有效产生致冷用于使产物流达到超低温条件的系统,其中一台活性磁再生器或一种多组分致冷剂流循环与一种脉冲管系统相组合,用以回收该脉冲管系统所产生的热量。
普拉塞尔技术有限公司  中国专利  2001年 下载次数(0)| 被引次数(0)

脉冲电场峰值电流及沉积时间对TiN薄膜结构与性能的影响 

依据等离子体物理学中气体放电理论基础,将气体放电引入强辉弱弧区间时,镀料粒子会以“碰撞电离加阴极热电子发射”方式脱离靶面,并获得较高的离化率和较高的密度。本文通过构建一个脉冲周期内先小后大递进式的双脉冲电场环境,将气体放电引入强辉弱弧区间,同时可利用前期弱离化阶段的原子电离降低后期强离化阶段的极间场强,并通过减少高离化...
西安理工大学  硕士论文  2018年 下载次数(58)| 被引次数(1)

用于超高速摄影的高精度脉冲延时可调电路系统的研制 

目前高速分幅相机在航空、军事、科学研究等领域都有着广泛的应用,它可用于捕捉物体的瞬间状态,如导弹在弹道中的运行轨迹。随着科学技术的不断发展,更多极端条件下的应用场景对于分幅相机的性能要求也不断的提升,未来分幅相机必然朝着高速、高精度、便携化方向发展。对于分幅相机而言,其实现超高速曝光的核心成像器件是由脉冲延时可调电路构...
重庆大学  硕士论文  2017年 下载次数(60)| 被引次数()

脉冲气流流场温度场数值模拟 

脉冲气流干燥机内空气的流动状态对其内部物料干燥有重大影响。本研究运用商用软件Fluent模拟脉冲气流干燥机内的流场和温度场并进行分析,为深入理解脉冲气流干燥机理和干燥机改进设计提供理论指导。本研究以脉冲气流干燥机为对象,以计算流体力学(CFD)为理论基础,以Navier-Stokes方程作为控制方程组,采用标准k-ε湍...
东北大学  硕士论文  2014年 下载次数(72)| 被引次数(1)

共找到相关记录8177条上一页>45678910111213下一页