半导体制造装置及调温方法 

本发明提供半导体制造装置及调温方法。与以往的调温方法相比,能够实现半导体晶圆的均匀的调温和高响应性。半导体制造装置包括在内部具有空洞(21)的晶圆载置台(2)、及为了将晶圆载置台(2)的温度调整为工艺温度而向空洞(21)的内壁喷射工艺温度以下的水的喷嘴(64a),其中,该半导体制造装...
东京毅力科创株式会社  中国专利  2012年 下载次数(0)| 被引次数(0)

热分解数据对研究火药临界工艺温度的指导意义 

用示差量热法(DSC)研究了药料初温、升温速率对火药热分解温度的影响,作为研究临界工艺温度的基础。
《火炸药学报》  1998年 第04期 下载次数(63)| 被引次数(2)

CMC/环氧树脂固化动力学及工艺优化研究 

羧甲基纤维素钠(CMC)是一种表面活性剂,对CNTs具有良好的分散性,在制备CNTs/环氧复合材料中有潜在应用价值。CMC也是一种具有生物相容性的高分子材料,可用于和其它高分子材料复合制备复合材料。本文首次制备了CMC/环氧E44和CMC/环氧E51复合材料,并采用非等温DSC法研究CMC/E44/DDM和CMC/E5...
哈尔滨工程大学  博士论文  2013年 下载次数(220)| 被引次数(1)

一种玻璃制品的横向火焰池窑生产系统以及生产方法 

本发明公开了,一种玻璃制品的横向火焰池窑生产系统以及生产方法;其包括玻璃原料运输装置,火焰热能主导玻璃熔化的横向火焰池窑结抅装置;玻璃液的卡脖流道装置;采用电极对从上向下流动的玻璃液进行温度控制的澄清、排气泡和防析晶装置;采用电极,对从下向上流动的玻璃液进行温度控制的玻璃液上升通道结构;玻璃制品...
杨德宁  中国专利  2018年 下载次数(0)| 被引次数(0)

U75V重轨在线热处理工艺关键技术的实验研究 

随着社会的发展,道路拥挤、环境压力日益突出,运输效率高、成本低、环境污染小的铁路成为了世界各国交通运输业发展的首选,特别是客运高速铁路和货运重载铁路。我国具有幅员辽阔,人口众多,耕地匮乏,先天生态环境相对脆弱等国情特点,这决定了中国必须建立以铁路为基础的高效运输体系。进入新世纪以来,我国高速重载铁路得到了飞速发展,这对...
东北大学  博士论文  2012年 下载次数(600)| 被引次数(8)

工艺温度对F2604/HMX复合粒子包覆效果及撞击感度的影响 

为了揭示工艺温度对PBX炸药的性能的影响,本研究采用实验与分子动力学模拟相结合的方法研究不同工艺温度下氟橡胶对奥克托今的包覆效果的影响,采用特性落高法对F2604/HMX复合粒子撞击感度进行分析。通过扫描电镜(SEM)和X射线光电子能谱(XPS)对复合粒子的微观形貌和元素含量变化情况进行表征,发现随着温度的升高,样品的...
《火炸药学报》  2019-11-22 08:35 下载次数(0)| 被引次数(0)

变速轧制下超快冷系统工艺温度在线实时修正策略 

结合某现场超快速冷却系统,具体分析了带钢运行速度变化对轧后冷却过程换热系数与冷却时间的影响规律.根据速度运行机制,开发了速度在线修正计算策略,实现了轧后冷却区带钢速度计算值与实际值的吻合;并在此基础上开发的工艺温度在线循环计算策略,消除了速度波动对温度控制的影响,提高了温度控制精度.将该温度在线实时修正策略应用于现场,...
《东北大学学报(自然科学版)》  2019年 第01期 下载次数(48)| 被引次数()

一种降低液晶光取向工艺温度的方法 

本发明属于液晶显示设备技术领域,具体涉及一种降低液晶光取向工艺温度的方法。该方法包括光取向层和光取向层基板的制备,所述光取向层基板的制备是在柔性基板表面涂覆光取向层,所述光取向层经过UV偏振光照射发生定向交联反应,形成各向异性诱导液晶分子取向;所述光取向层为侧链带有香豆素光敏基团的高分子聚合物。该方法涉及的...
中能柔性光电(滁州)有限公司  中国专利  2014年 下载次数(0)| 被引次数(0)

一种生产线设备的温度监控方法及装置 

本发明公开了一种生产线设备的升温监控方法,包括:步骤S11.检测被加热体的第一当前温度;步骤S12.依据所述第一当前温度从预置的工艺温度曲线中查找所匹配的监控点;步骤S13.按照从所匹配监控点升温至下一监控点的时间增量继续升温后,检测被加热体的第二当前`...
北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司  中国专利  2010年 下载次数(0)| 被引次数(0)

半导体晶圆的热氧化制作工艺 

一种半导体晶圆的热氧化制作工艺,此制作工艺首先在低于主要热氧化制作工艺温度的一温度之下,将晶圆加载炉管中,并且,通入足以驱离炉管中水气以及氧气的大流量的氮气或氩气。接着在晶圆完全加载炉管后,逐渐升高炉管的操作温度至主要热氧化制作工艺温度,并持续通入...
旺宏电子股份有限公司  中国专利  2003年 下载次数(0)| 被引次数(0)

半导体结构的形成方法 

一种半导体结构的形成方法,包括:形成衬底,所述衬底上具有多个第一鳍部和多个第二鳍部;形成位于第一隔离结构和第二隔离结构;形成保护层,形成所述保护层的步骤中,工艺温度低于780摄氏度;回刻所述第二隔离结构,露出所述第一鳍部和所述第二鳍部的部分侧壁表面。本发明技术方案在形成位于所述第一隔离结构上保护层的步骤中,...
中芯国际集成电路制造(上海)有限公司;中芯国际集成电路…  中国专利  2018年 下载次数(0)| 被引次数(0)

一种真空热处理炉上的内置热电偶监控装置 

本实用新型公开了一种真空热处理炉上的内置热电偶监控装置,与真空热处理炉相对应,其特征在于:所述内置热电偶监控装置包括若干内置测温热电偶,所述内置测温热电偶为铠装热电偶,所述内置测温热电偶通过热电偶密封装置穿过料腔门,所述热电偶密封装置密封安装在料腔门上;所述内置测温热电偶通过热电偶补偿导线连接至控温系统。本实用新型设计...
青岛精诚华旗微电子设备有限公司  中国专利  2018年 下载次数(0)| 被引次数(0)

一种基于力学性能预报和轧制能耗模型的精轧节能控制方法 

一种基于力学性能预报和轧制能耗模型的精轧节能控制方法,涉及一种专门适用于金属轧机或其加工产品的控制设备或方法,用于热轧精轧生产线轧制工艺控制过程的轧制能耗控制,包括如下步骤:收集带钢的化学成分、轧制工艺参数和力学性能目标值,检查力学性能预报模型的输入参数,调用轧制能耗计算过程,使用轧制能耗模型计...
宝山钢铁股份有限公司  中国专利  2016年 下载次数(0)| 被引次数(0)

支撑装置、衬底处理设备以及衬底处理方法 

本发明提供一种支撑单元,其包含垂直地延伸预定长度的支撑主体以及安置在支撑主体中的插入件。衬底放置在支撑主体的上部上。因此,在将衬底加载到工艺腔室中之前,根据直接或间接方法,将支撑单元预加热到等于或类似于衬底的工艺温度温度,由此减少或防止衬底因支撑单元造成的热损失。因此,提高了衬底的...
AP系统股份有限公司  中国专利  2015年 下载次数(0)| 被引次数(0)

塑料挤出工艺温度优化的思考和实践 

本文论述了塑料挤出工艺温度的优化基准、指标、机理、前提条件和对策、检验方法。对实现提高塑料制品质量,减缓挤出机磨损,延长其工作寿命,进一步降低配方成本,方便管理,及时发现和有效处理故障等多层目标有现实意义。
《门窗》  2009年 第04期 下载次数(249)| 被引次数(5)

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